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为IBM工作22年的林本坚，在50岁时选择提前退休。彼时，他已经10度获得美国IBM杰出发明奖、杰出优秀奖，为公司创造多项世界第一，申请的专利资料堆满文件柜。 “我离开IBM时，没有欢送会。”他不无遗憾地回忆。 这位极少与人红脸的儒雅先生，虽然在科研上一丝不苟，私下却温厚谦谨，从不舍得责骂下属。离开IBM时，他或许曾期待一场惜别，却等来一场交涉。 IBM希望他保证不会到对手那里工作。还提出他将来无论受聘谁家，都要提前告知，届时再确认有没有竞争关系。 老东家可能意识到了，林本坚这个人，只要不在自己手里，放到哪儿都是科研核武器。 这枚核武器后来回到故乡台湾，很快轰炸了整个半导体世界。 2002年，半导体行业奉为圭臬的摩尔定律突然失灵。 这个定律预言，当价格不变时，每隔18~24个月，集成电路上可容纳的元器件数目就会增加一倍，性能和性价比随之提高一倍。 出自科研界的说法是，晶体管越小，芯片就越快，耗能更少。 过去半个多世纪，全世界科学家都在想尽办法延续这个定律，以维持信息技术的高速进步。然而，在把芯片尺寸缩小至65纳米之后，业界卡壳了。 当时几乎所有人都寄希望于157纳米 波长光刻、以空气为介质的“干式”微影技术的突破上，全球头部厂商为此投入几十十多亿美元，仍然毫无进展缓慢进展。 如果摩尔定律衰亡，意味着人类信息技术可能陷入停滞。 2002年，在一次国际微影研讨会上，林本坚抛出一项颠覆干式工艺、利用水做介质的“浸润式微影”技术。据他介绍，这项技术不仅比传统工艺造价低廉、操作简便，而且还比157纳米干式技术提高了整整2倍的芯片解析度! 现场几千人听得汗毛倒竖。如果这项技术行得通，整个芯片工艺可以前进两代半至三代。 业界瞬间炸锅。有人视他为救世主，有人视他为搅局者，有人揪住浸润式工艺中“水容易产生污染、产生气泡”等技术细节提出质疑，有人抨击他哗众取宠。 更大的反弹来自那些已经为157纳米工艺投入血本、甚至已建好生产设备的厂商，其中一家投入数亿元的大公司直接给台积电高层打电话：“你们能不能管管他，不要搅局!” 幸运的是，台积电上至“大老板”张忠谋下至数百名工程师，鼎力襄助他做实验、发论文、办讲演。 为了不授人以柄，每发表一项结论之前，他都会把数据推演到穷尽，甚至连未被提出的细节也一并设想，以实证回应质疑。 为了争取那些为芯片量产做机器的厂商，林本坚亲自跑遍美国、日本、德国、荷兰等地，逐一拜会龙头企业，不成想，一上来就遭遇一家美国大厂当头棒喝：我们绝不会用你的科技，永远不! 这一年，林本坚60岁。以技术虔诚，在大大小小的商人面前苦口婆心。 “他一个人站在一艘‘航空母舰’前叫停。”美国国家工程院院士、台湾新竹交通大学校长张懋中如此评价林的孤胆。 经过反复拜会，世界最大的光刻机制造商荷兰艾斯摩尔、尼康等国际大厂渐渐服膺于这位华人科学家的缜密论证和眼光，纷纷转向。 2003年，艾斯摩尔公司给林本坚展示了刚刚赶制出来的第一片用浸润式曝光机做出的成像，一向恭谨举止得体的林本坚兴奋得手舞足蹈。 不久之后，浸润式微影技术正式量产。 从量产第一代45纳米芯片开始，工业界40纳米、32纳米、28纳米、20纳米、16纳米、14纳米、10纳米、7纳米芯片，都靠浸润式技术推进。 2014年，一次在台湾地区接受电视节目采访，主持人特意问到林本坚，他这个独步全球的“微影浸润式技术”到底是个什么样的技术? 林本坚描述说，这项技术主要就是将一个集合了各种线、管的电路系统缩到超级小，植到晶片上。缩到多小呢?譬如说，把一根头发剪下来，就是这根头发横截面那么大，“我们现在的科技可以做到放七千个电路在上面，所以这是很奇妙的地方。” 林本坚的工作，就是负责差不多每两年将之缩小30%，“继续把可以成像的东西缩小”。 据媒体报道，林本坚在未来科学大奖之后曾到清华大学演讲，经他披露，光影微刻技术如今发展到一个头发横截面已经可以装下20735个SRAM(一种存储器)单元。 摩尔定律起死回生。 据不完全统计，今天世界上每年超82%的芯片由浸润式微影技术生产，从2002年至今，林本坚以两年一迭代的速度，将摩尔定律向前推进了7代。 “他真是越来越厉害了” （责任编辑：职场达人） |
